全面封顶！国内首条碳化硅全产业链生产线预计年中长沙全面投产人民网长沙1月20日电 星城长沙，高新麓谷，国内第一条碳化硅研发、生产全产业链产线日，湖南三安半导体项目最大单体M2B芯片厂房顺利完成封顶， 该栋厂房占地面积23206平方米、建筑面积52326平方米,钢构大屋面面积为16500平米。此次封顶标志着这座湖南省境内的首个第三代半导体产业园项目（一期）Ⅰ标段完成全面封顶。

　　该项目总投资160亿，分两期建设，当前项目一期由中建五局三公司负责施工建设,主要包含碳化硅长晶、衬底、外延、芯片、器件封装等厂房及相关配套设施建设，项目全面建成投产后将形成两条并行的碳化硅研发、生产全产业链产线，产品为高质量、低成本、高稳定性碳化硅衬底及各类器件，可广泛用于新能源汽车、高铁机车、航空航天和无线G）通讯等。

　　半导体由于其精密性，对环境洁净度、温湿度、振动、ESD(静电控制)、AMC(气态分子级污染物)等都有一定的要求，芯片生产车间对于生产环境的空气洁净度非常挑剔，就算是一粒小小的粉尘，粘在芯片上也可能造成短路，进而直接影响成品率完美体育。为了满足半导体制造工艺需求，生产车间必须达到洁净车间的标准。

　　“三安半导体项目建成后将服务于技术密集型半导体产业，对空气洁净度提出了很高要求。我们需要完成对空气洁净度有着高要求的7座单体，其中衬底、外延厂房提出了“千级”洁净度的要求，而芯片厂房更是提出了‘百级’洁净度的要求。”总包建设方中建五局三公司项目负责人周祥介绍到：“所谓‘百级’洁净，即每立方英尺的空气中≥0.5微米粒径的粒子数量不超过100个完美体育，堪比最高洁净等级手术室的标准。”

　　洁净标准一般按照十级、百级、千级、万级、十万级、三十万级……划分，数值越小，代表净化级别越高。普通公共场所杀菌消毒可参照三十万级标准，医院ICU病房杀菌消毒参照十万级标准，而中建五局三公司承建的湖南三安半导体项目中M2B碳化硅芯片厂房为百级标准，对空气洁净度有着极高要求。

　　项目技术负责人陆建臻介绍到：“为保证无尘洁净室大面积生产车间的空气洁净度完美体育，我们需要做好华夫板（利用楼板内孔洞形成回风通道的楼板）高精度施工，建立洁净空调通风系统形成回风通道。为此，项目在施工过程中每一步都会进行严格的技术复核、严格的施工过程技术控制。”

　　据了解，芯片厂房华夫板厚度为70cm，可抗微震。华夫板面积为14100㎡，其中浇筑有35000个直径35cm的奇氏筒，相当于每2㎡就有5个用于换气的圆形孔洞，届时芯片产线将布置于华夫板之上，整个车间利用新风系统进气保证正压，并通过华夫板回风通道排气，以此保证车间洁净度。

　　据悉，该项目全部建成后预计可实现年产值120亿元以上，可直接提供4500个就业岗位，并带动上下游配套产业产值预计超1000亿，提供近10000个就业岗位。

　　本项目是湖南省落实国家相关政策，实施“三高四新”战略的重要载体，凭借本项目完整的碳化硅产业链布局和强大的制造平台，将快速发展为具有自主知识产权、掌握核心技术与行业话语权、具有重要国际影响的碳化硅材料与器件产业生产基地。同时由于半导体产业链中，上游产业对于中、下游产业的放大效应十分明显，项目的实施，也必将推动湖南长沙先进半导体产业的壮大，促进形成新的经济增长点，助力形成湖南长沙在化合物半导体领域确立世界级领先地位。（褚兴科 王丽）