完美体育AMC洁净室检测测试技术系统随着半导体、芯片、晶圆等科技产品微量尺寸的不断突破，洁净室环境面临更大的考验。英格尔检测拥有完善可靠的AMC在线监测系统完美体育，可为半导体制造业提供准确无误的洁净室测试数据。英格尔还可帮助企业在面临ppt超低浓度气态化学污染物难题时，提供专业的技术支持及一站式洁净室AMC测试服务。

　　气态化学污染物，是指空气中以气体或蒸气形式存在的分子级污染物，在微电子洁净室环境中，因此气态化学污染物也称为气态分子污染物。面对日益精进的制程工艺，AMC监测技术也在不断升级，英格尔检测推出的全新一代AMC在线监测系统，结合FFU，将晶圆盒内部和洁净室内部实时监控，ppt级极高灵敏度和浓度报警机制完美体育，能及时反馈给厂务端，从而控制好污染物释放，保证良品率。

　　英格尔检测了解到根据洁净室的特性，在国际半导体设备及材料协会SEMIF21-1102和国家GB/T25915.8-2021的标准中将洁净室中的空气污染物有详细要求：

　　AMC分子污染物的尺寸比粒子要小5000倍及以上，AMC在半导体制造栅底氧化、薄膜沉积、多晶硅和硅化物形成、接触成型、光刻等多个关键工艺上对晶片表面、设备表面产生侵蚀完美体育，还会产生非控制性硼化物或磷化物掺杂、晶圆表面或光学镜面产生阴霾、微粒产尘等危害，从而大大影响了产品的质量。

　　针对半导体制造部件可能面临的各种污染问题，英格尔洁净室AMC测试中心将以极高灵敏度的AMC实时监控能力为企业提供服务。英格尔检测为帮助企业避免在工艺过程中可能受到的污染，深耕AMC在线监测系统多年持续升级晶圆盒内部、光刻机内部等一体化清洁设备，为提高合格率降低产品污染为目标。返回搜狐，查看更多