芯片洁净室AMC污染物检测系统十几年前国际半导体组织结合ITRS技术，对洁净室内AMC种类进行整理定义。2017年以后IRDS设备与系统路线图被业界了解，AMC物种远不局限于MC、MA、MB及MD等。英格尔半导体检测机构深耕行业多年，具备优秀的AMC污染物检测系统。英格尔检测随着制程工艺节点的收紧、工艺步骤及复杂度的提升，也在持续增加洁净室AMC数目与类别，为企业提供AMC控制半导体洁净室服务方案。

　　气态分子污染物(AMC)基于国际半导体设备和系统线路图，不同制程节点要求下洁净室内AMC上限浓度一览完美体育。气态分子污染物(Airborne molecular contaminant，AMC)，是对半导体制程良率可能产生负面影响的气态污染物的统称。

　　英格尔检测解释现行的AMC检测方法，普遍受到仪器数据输出频率低或者物种覆盖范围较小的限制。例如常见的在线分钟才能出一组数据，而且耗材和维护人力成本较高。另一类常见的在线分析方式是光谱法，比如以光腔衰荡光谱(CRDS)为代表的激光吸收光谱技术。因激光光源限制，一台CRDS设备一般只能检测一种或者几种化合物，同时数据时间分辨率是分钟级别。这也是IRDS路线图中对各种类的AMC都推荐某几种设备组合的主要原因。

　　例如英格尔Vocus CI-TOF质谱仪是AMC检测技术的强力补充。只需一台仪器，业主就可以覆盖AMC的几大主要种类，同时获得秒级响应和pptV级别的检测限完美体育。搭配的高分辨率TOF飞行时间质谱的全谱记录让Vocus CI-TOF具有数据回溯分析的功能完美体育，这在半导体需管控AMC种类不断扩充的前提下显得尤其重要。

　　AMC检测技术的实施，需要通过多种仪器设备与专家团队协助完成。其中Vocus CI-TOF质谱仪是满足AMC严格的洁净室检测需求的方案首选，英格尔检测将通过高效、可靠、完善的AMC洁净室检测技术，保证半导体车间内空气的质量稳定与极致环境，从而保障晶圆的质量与合格率。