完美体育洁净室(区)尘埃粒子数检查操作规程4.1.1本测试方法采用计数浓度法,即通过测定洁净环境内单位体积空气中含大于或等于某粒径的悬浮粒子数,来评定洁净室(区)的悬浮粒子洁净度等级。
4.2.2.1静态测试:洁净室(区)净化空气调节系统已处于正常运行状态,工艺设备已安装,洁净室(区)没有生产人员的情况下进行的测试完美体育,测试时,室内测试人员不得多2人。
对任何小洁净室或局部空气净化区域完美体育,采样点的数目不得少于2个,总采样次数不得少于5次。每个采样点的采样次数可以多于1次,且不同采样点的采样次数可以不同。
4.2.4.5.2对于单向流、计数器采样管口朝向应正对气流方向,对于非单向流,采样管口宜向上。
4.4.2全部采样点的粒子浓度平均值均值的95%置信上限必须低于或等于规定的级别界限完美体育,即UCL≤级别界限。
4.1.2仪器:用于粒径大于或等于0.5μm的悬浮粒子计数器(如:CLJ—01D型尘埃粒子计数器)。
4.2.1.1温度和湿度:洁净室(区)的温度和相对湿度与其生产及工艺要求相适应(温度控制在18℃~26℃,相对湿度控制在45%~65%之间为宜)。
4.2.1.2压差:空气洁净度不同的洁净室(区)之间的压差应≥5Pa,空气洁净度级别要求高的洁净室(区)对相邻的空气洁净度洁净级别低的洁净室(区)一般要求呈相对正压。