电子工业洁净厂房建筑设计示意图doc洁净厂启建筑设计耍综合考虑空气净化系统的布局、气流流型选择以及管线系统安排等 因素完美体育,创造最优综合效果的建筑空间环境。
在电子工业洁净厂启的设计中,建筑设计是一个重要的纽成部分。洁净厂龙建筑设计要 综合考虑空气净化系统的布局、气流流型选择以及管线系统安排等因素进行建筑物的平面和 剖面设计,在满足工艺流程要求的基础上完美体育,恰当地处理洁净用龙和非洁净用龙以及不同洁净 等级用房之间的相互关系,创造最优综合效果的建筑空间环境。
电子工业洁净厂厉设计的根本原则是必须满足工艺生产的要求,同时要充分考虑场地的 合理利用。随着现代工业的迅速发展,工艺和设备更新的周期越來越短,生产规模也日趋扩 大。对C有的厂房要不断地进行技术改造,采用新的技术装备和新的工艺流程,以适应上述 要求n因此,在新厂房的设计中,亦要考虑改建、扩建的可能性和在建筑使用上的灵活性完美体育、 通用性,必须注意洁净厂房建筑参数的选择,增大厂房宽度,以利于设备布置的变更。
洁净厂厉一般包括洁净生产区和为洁净生产区服务的人身净化区、物料净化区、空调净 化机房及其他辅助区域,此外还包括各类工业管道和线路所占据的空间。对于洁净厂厉來说, 有洁净度要求的生产往往仅为部分工序或者部分部件与产品,对兼有一般生产和洁净生产的 综合性厂龙,在考虑其平面布局和构造处理吋,应合理组织人流、物流运输及消防疏散线路, 避免一般生产対洁净生产带來不利的影响。当防火要求与洁净生产要求有冲突时,应采収措 施,在保证消防安全的前提下,减少对洁净生产的不利影响。空气调节与净化、水与气体的 净化以及电器控制是净化生产的重要辅助部分。这些机厉的规模、设备特征、机房位置以及 其空气循环与分配系统的安排,在很大程度上影响着厂厉建筑的空间组合。因此需耍解决好 它们同生产工艺之间的布局关系,以取得使用上和经济上的良好效果。
对于电子工厂洁净厂房内生产工作间的火灾危险性,应按照现行国家标准《建筑设计防 火规范》(GB500⑹进行分类。《电子工业洁净厂房设计规范》附录中列出了电子工厂洁净 厂房生产工作间的火灾危险性分类的举例。电子工厂洁净厂房中,有使用丁***、内•***、异丙 醇等易燃化学品的洁净室,这些化学品均屈甲类物质,因此将电子工厂洁净厂厉中包含这些 化学品的储存间、分配间列为甲类。在集成电路洁净厂厉中常當使用氢气、硅烷等可燃、有 毒气体,它们均属于甲类气体,刚匕将电子工厂洁净厂厉屮包含可燃、有毒气体的储存、分 配间列为甲类。集成电路和半导体分立器件工厂的外延间,山于其生产过程中需使用氢气、 硅烷等可燃气体,因此在现行国家标准《洁净厂龙设计规范》(GB50073)附录A屮被列为甲 类。但是近年来,随着科学技术的进步,分立器件和集成电路生产所采用的外延设备的设计、 制造技术的不断提高,各种气体供应、控制系统、设备和附件设计、制造技术的不断捉高, 气体报警设施的安全可靠性得到了长足的进步和提高。调杏衣明,分立器件和集成电路生产 所采用的外延设备L1配置有氢气泄漏和超浓度排放报警及英连锁控制装置;外延间的氢气供 应管路设有紧急切断阀,一旦发生事故或火情时自动切断氢气供应;外延间按建筑特点在可 能积聚氢气处设置氢气报警装置和事故排风连锁控制装置等安全措施。因此,《电子工业洁